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非均衡扼制导输钛化物试验机作用的功效咗

2022-01-29

非均衡扼制导输钛化物试验机作用的功效

TiN薄膜显微硬度为TiN薄膜在Ti6Al4V基体上的复合硬度。可以看到,基体Ti6Al4V的硬度为350kg/mm2,薄膜在Ti6Al4V基体上的复合硬度先随PN/PAr增大而增加,当PN/PAr=010时,薄膜硬度达到大值,然后随着PN/PAr的增大逐渐下降。从XRD相结构分析可知,随着PN/PAr的增大,薄膜的相结构从TiN、Ti2N两相共存结构,逐渐转变为TiN结构,在薄膜复合硬度达到大时(PN/PAr=010),TiN薄膜中存在大量的亚稳态的Ti2N,可能是这种多相共存的结构有效地提高了薄膜的硬度。当PN/PAr继续增大,达到017,薄膜的相组成主要是TiN相,硬度值有所下降,随着PN/PAr继续增大,达到025时,薄膜复合硬度继续下降,可能是由于过多的氮的存在,降低了沉积粒子的扩散性,导致晶界强度下降。  薄膜的磨痕宽度较窄,磨痕中出现小沟槽并伴有带状脱落,反映了微观切削与疲劳磨损机制的共同作用。从磨损寿命来看,2是14试样中,耐磨性能好的一个,3次之。4个样品在相同的磨损条件下,磨损寿命长短相差很大,形成的磨痕形貌和磨痕宽度都存在较大差异。从氮气和氩气分压比看其与薄膜磨损寿命的关系,可以看出,随着PN/PAr济南实验机厂济南新时期试金仪器有限公司全国知名企业的增大,薄膜磨损寿命先增加,当达到长的磨损寿命(2),继而开始不断下降。薄膜的磨损寿命随氮气和氩分压比的变化趋势与薄膜复合硬度随氮气和氩气分压比的变化趋势一致。可见薄膜的硬度与薄膜的耐磨性能关系密切。薄膜硬度越高,薄膜抗磨损能力越强。从磨痕的光学照片分析出,TiN薄膜的磨损机理是微观切削与疲劳磨损的综合作用。所以当薄膜相结构中存在亚稳态的Ti2N相时,薄膜硬度显著提高,薄膜的耐磨损性能也达到优。  薄膜的耐腐蚀性能通过研究TiN薄膜在Hanks类体液中的电化学行为,来分析其在体内的耐腐组织中欧第6次原材料工作组会议和中俄总理定期会晤工业合作分委会原材料工作组会议蚀性能,从样品在Hanks类体液中的阳极极化曲线可以看到钛合金经氮化钛表面改性后,腐蚀电流的密度极小,其腐蚀电流比相同条件下钛合金的腐蚀电流降低了12个数量级,耐腐蚀性明显提高,而且不同氮气和氩气分压比(P可乐丽在2016年chinaplas展会上带来的EVOH高阻隔性树脂N/PAr)下制备的TiN薄膜耐腐蚀性能相差不大,均具有很好的耐腐蚀性能。  结论(1)利用非平衡磁控溅射设备,在钛合金(Ti6Al4V)基体上制备出了致密的、耐腐蚀性能优良的氮化钛薄膜。  (2)研究了氮气和氩气分压比(PN/PAr)对氮化钛薄膜的影响,当薄膜结构较接近饱和TiN相的同时,存在一定量的Ti2N相时,这种多相共存的结构可以有效提高氮化钛薄膜的硬度和耐磨损性能。  (3)在高偏压下制备的氮化钛薄膜生长得更加致密,表面粗糙度也较小;在低偏压下制备的氮化钛薄膜生长主要受热力学因素控制,薄膜就沿着低表面能的(111)密排面择优生长。

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